国产划片机 2021-05-12
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圆片划片是集成电路制造工艺中的一个重要环节 ，无论是传统芯片封装还是新的圆片级封装技术 ，划片工序都是不可或缺的。对于传统芯片封装而言 ，圆片划片是封装过程的前段工序 ，而对于圆片级封装 ，划片往往成为封装的步骤 ，一前一后都直接关系到封装成品的可靠性。
圆片通常采用刀片切割进行芯片分离 ，即所谓的刀片划片 ，刀片划片工艺多采用金刚砂刀片作为划片刀具 ，存在刀片磨损、切割过程中硅屑飞溅、崩边、颗粒沾污等现象且无法避免。
随着集成电路技术的不断进步 ，芯片集成度在提升 ，圆片上的有效芯片尺寸也在不断增加 ，伴随的是划片槽尺寸的进一步缩小 ，传统的刀片划片技术已经很难适应 ，激光划片技术应运而生。激光划片技术大致分为基于激光熔融的常规激光划片、激光隐形切割(SD) 划片和微水刀激光划片 3 种主要形式。常规激光划片技术主要用于 Low-K 工艺的圆片表面开槽 ，即采用高能激光将在 Low-K 工艺圆片表面的易碎钝化层包括 PCM 图形烧蚀 ；激光隐形切割技术则是利用特殊波长的激光打断圆片划片槽上的硅晶格 ，此过程不会在硅片有效图形区中形成高温 ，划片后形成的划痕宽度只有数微米；微水刀激光划片结合常规激光划片与水冷技术的特点 ，将高能量的激光束约束在一个狭小的水道中 ，划片过程中同样不会造成硅片中的热损伤。
等离子划片是近年来兴起的一项全新的圆片划片技术 ，它是采用等离子刻蚀技术在圆片划片槽中形成窄小的蚀刻槽 ，使得芯片分离 ，与其他几种划片技术相比 ，可以一次性同步完成所有芯片的划片 ，无需先后对所有划片槽进行分步切割 ，其划片速度与芯片大小无关 ，仅与圆片厚度相关 ，划片效率明显提升 ，是对现有划片技术的一个颠覆 ，918博天堂科技重点介绍这种新的圆片划片技术 ，如果您想了解更多关于划片机知识 ，请关注我们918博天堂科技官方网站。
